微电子技术可以实现多种功能，其中一项重要的测量就是振动。振动传感器测量所谓的振荡运动，即连续来回的运动。可以使用带有轴的坐标系来指示方向，并且还可以测量与重力相关的力。振动分析是通过测量位移、速度以及加速度来完成的，加速度主要由振动监测传感器进行分析。不同类型包括压电传感器、集成电子压电传感器、压阻传感器、可变电容传感器和伺服传感器。
振动传感器通常称为加速度计。压电加速度计依靠作用在其上的力的能量来工作，因此系统中不需要额外的电源。传感器两侧的电子电荷位移用于生成测量结果。该传感器的常见类型包括剪切设计用于处理较大的温差，而梁式设计通常是首选，因为它通常成本较低。
双手放在臀部的男人集成电子压电器件传感器包含自己的小型放大器，因此不需要像压电产品那样使用特殊电缆。输入和输出信号通过连接到传感器的单根电缆传递，并且整体设计免受电噪声的影响。该设备还可以集成电子滤波器、电气过载保护和各种附件功能。
压阻传感器可配置为单臂或多臂设计，以产生更复杂的输出。它由外部电源供电，允许使用输出信号来监测稳定的振动状况。ble 而不是改变方向或力。对于高加速度条件，可变电容振动传感器通常集成硅片，硅片之间有间隙，以保证耐用性。它们可以承受高达其定义工作范围 1,000 倍的加速度。
与开环配置、伺服或力平衡中依赖晶体或其他元件位移的其他传感器不同，加速度计使用闭环-循环设计。伺服驱动的振动传感器具有较高的精度，可用于惯性制导系统。用于振动分析的其他常见形式的传感器包括接近传感器。它们通常位于机械内部，通过测量内部组件的电导率来监控内部组件的运动。虽然这些传感器是非接触式的，但其他振动传感器依靠接触来准确测量运动或距离。
